中山大學(xué)2022年11至12月政府采購意向-電子與信息工程學(xué)院無掩膜激光直寫曝光機(jī)采購項(xiàng)目-A032103電子工業(yè)專用生產(chǎn)設(shè)備-預(yù)算金額500.000000萬元(人民幣)
招標(biāo)預(yù)告 | 2022-10-13丨 廣東
有效光刻面積200*200mm、最小特征尺寸:0.5微米和0.8微米寫頭、側(cè)壁粗糙度70納米、線寬均 查看詳情>>
中山大學(xué)2022年11月政府采購意向-集成電路學(xué)院激光直寫光刻機(jī)采購-A032103電子工業(yè)專用生產(chǎn)設(shè)備-預(yù)算金額452.900000萬元(人民幣)
招標(biāo)預(yù)告 | 2022-10-10丨 廣東
光直寫光刻機(jī)1套。主要技術(shù)指標(biāo):基于AOD技術(shù)的激光直寫最小結(jié)構(gòu)尺寸0.5um具有3個(gè)不同分辨率物鏡10X20X50X;支持基底厚度1-15mm支持Z軸AutoFocus基底翹曲1 查看詳情>>